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常见问题

石墨热场生产制造中的存在的不足就会造成石墨坩埚应用時间降低

发布时间:2019-12-16 14:15:54 浏览:703次


    大家都知道石墨坩埚使用说明上的存在的不足就会造成石墨坩埚应用時间降低,进而也给制造商自身提升了成本费,今日人们就来实际的聊一聊高纯石墨热场生产制造中的疑难问题,究竟人们应当如何解决。


    伴随着社会经济发展的发展趋势,许多单晶硅生产商在高纯石墨热场的运用全是较为娴熟的,缘故是有二点:*、高纯石墨毡隔热保温好用,薄厚超过100mm,合理的确保了轴向系数溫度将会小的标准,第二、热将近的缘故能够是石墨坩埚的薄厚超过250mm,扎样能够是从上到下保温桶的规格也会充足大,有充足的竖向的热管散热作用。


    热场的构成如电加热器、三瓣埚、高纯石墨托、热屏等均由石墨加工而成。在加工过程中,常常能遇到加温元器件毁坏的状况,那麼高纯石墨元器件毁坏的缘故是啥,应当采用哪些的对策来增加高纯石墨元器件的使用寿命呢?


    高纯石墨元器件的毁坏,关键许多人为和劣变2个层面的缘故。人为因素层面要是提升管理方法,加强职工安全意识,就能够将损害降至底点。这儿关键探讨劣变。*先人们来掌握高纯石墨的相关特点

石墨模具|石墨棒|石墨坩埚

    1.耐热性,高纯石墨的溶点极高,在真空泵为3850度,在底压下升化,升化溫度为2200度,与一般原材料不一样,当溫度上升时高纯石墨不仅不变软,抗压强度反倒提高,在2500度时,高纯石墨的抗压强度反倒增加一倍。


    2.独特的耐热震性,高纯石墨的热变形性具备各种各样,因此宏观经济热膨胀系数并不大,在溫度剧变的状况下,高纯石墨的容积转变也并不大,加上其优良的传热性能,因此高纯石墨的耐热震性优良。


    诸上二点上述,高纯石墨件应当可以长期的在高溫下平稳工作中。


    在一般来说,瓣堝与别的高纯石墨元器件如隔热保温罩、电加热器对比,全是一样的原材料、同一个生产厂家、一样的办公环境,为何使用期远远地小于隔热保温罩和电加热器呢?三瓣堝的破裂关键缘故来源于于石英坩埚。


    1.因为熔硅的相对密度要超过固态硅,那样在制冷全过程中,底锅料会撑裂石英坩埚,而石英坩埚是迎合于三瓣堝的,当石英坩埚裂开而造成的地应力超过三瓣堝承担的地应力时,三瓣堝就会破裂,这就是说为何埚火锅底料剩下过多就会撑裂三瓣埚的缘故。


    2.加温時间太长、方解石坩堝品质不合格、原材料ph酸碱度未超过规定,会造成漏硅和渗硅,熔硅渗透到三瓣堝中间的间隙中间制冷后一是撑坏三瓣堝,二是使三瓣堝互相粘合,在清炉时,使其分离出来有将会导致破裂。


    3.在加温全过程中惟有三瓣埚的热原来源于2个层面,一是电加热器的辐射源,二是来源于于石英坩埚的传输,这就造成三瓣埚遇热不均,加温时沿一些方位澎涨,沿另一些方位收拢,可能会导致三瓣埚破裂。