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常见问题

在做半导体时石英坩埚要套上石墨坩埚的原由

发布时间:2019-09-23 14:00:10 浏览:101次


    只是会增加热阻,你放东西进去加热效果会变得很差。当然假如你套得十分十分紧的话,加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上发作熄灭,石英坩埚因受热不均可能会招致呈现裂痕。


    石英坩埚可在1650度以下运用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单石英坩埚晶硅,是开展大范围集成电路必不可少的根底资料。当今,世界半导体工业兴旺国度已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。


    石墨坩埚的主体原料,是结晶形自然石墨。故它坚持着自然石墨原有的各种理化特性。

石墨模具|石墨棒|石墨坩埚

    石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性,在高温运用过程中,热收缩系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优秀的化学稳定性。


    石墨坩埚,因具有以上优秀的性能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被普遍用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。


    直拉法消费单晶硅时的状况,石英坩埚为什么要套上石墨坩埚?


    主要起辅助热场稳定性停止拉制单晶硅的作用


    1.石墨坩埚良好的热稳定性


    2.石墨坩埚良好的耐腐蚀、耐冲击性能、以保证产质量量的牢靠性。


    3.石墨坩埚良好的耐强酸、强碱。


    4.石墨坩埚良好的热传导性能:能够极大缩短熔炼时间,节约能源。


    5.石墨坩埚的灰分小于300pp,确保贵金属在冶炼中不被污染。


    具有良好的中子减速性能,最早作为减速剂用于原子反响堆中,石墨反响堆是目前应用较多的一种原子反响堆。作为动力用的原子能反响堆中的减速资料应当具有高熔点、稳定、耐腐蚀的性能。