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如何延长石墨热场器件的寿命呢?

发布时间:2019-11-21 11:17:28 浏览:14次

   热场就是热系统。在机械中一般指单晶炉热场,就是单晶炉中的热系统。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。最常见的是18寸的石墨热场。


    众所周知,热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。在生产过程中,经常能碰到加热器件损坏的现象,那么石墨热场器件损坏的原因是什么,应该采取什么样的措施来延长石墨热场器件的寿命呢?石墨器件的损坏,主要有人为和劣化两个方面的原因。人为方面只要加强管理,强化员工防范意识,就可以将损失降到最低点。这里主要讨论劣化。

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    首先我们来了解石墨的有关特性,1.耐高温性,石墨的熔点极高,在真空为3850度,在低压下升华,升华温度为2200度,与一般材料不同,当温度升高时石墨不但不软化,强度反而增高,在2500度时,石墨的抗拉强度反而增加一倍。


    2.特殊的抗热震性,石墨的热膨胀性具有各向异性,因而宏观膨胀系数不大,在温度骤变的情况下,石墨的体积变化也不大,再加上其良好的导热性能,因而石墨的抗热震性良好。


    诸上两点所述,石墨热场器件(石墨坩埚)应该能够长时间的在高温下稳定工作。