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石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用

发布时间:2019-11-15 18:29:13 浏览:1051次

    直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。


    热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。


    21世纪,越来越多的用户开始注意到石墨材料,石墨具有耐高温、导电、导热性良好、润滑性等主要特点,抗热震性等在新能源引领未来的时代,石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用。


    在真空炉中热场是决定单晶硅好坏的决定因素,通过对石墨热场的了解,决定热场石墨组件的好坏的因素有很多,其中石墨原材料的选择和加工工艺上*关键

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    由于单晶炉石墨热场大多是采用等静压石墨来加工,对于石墨制品加工企业来说石墨材料要比加工工艺所占的比重大一些,那么提高石墨热场的利用率是石墨制品加工企业都要考虑的问题,因此在报价给看客户报价的时候除了考虑石墨原材料理化指标,更多的还要考虑石墨热场的寿命。


    清炉是个技术活,清炉不到位,将影响到单晶的正常生长,轻者,无法正常生长单晶,重者,将会导致停炉,大家在清理单晶炉中应该注意到几点:


    1、尽量将喷溅到石墨部件上的硅滴去除,劣化严重的石墨件要向主任报告及时更换。


    2、用刷子和吸尘器清理各种石墨件,一定要注意清理管道的重要性。


    3、石墨件要轻拿轻放,避免石墨件受损。


    4、清理干净的石墨件,应放在干净的不锈钢推车上,避免二次污染。