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石墨坩埚在热场系统中的功能

发布时间:2019-11-13 17:59:44 浏览:827次

    

    直拉法生产单晶硅是目前制备单晶硅的*主要方法,热场系统是硅材料成晶的*重要的条件之一,热场的温度梯度分布直接影响着是否能顺利地拉出单晶和控制单晶的质量好坏。因而热场的设计和改进对一个有竞争力的拉晶厂家来说*重要。


    在拉制单晶的过程中,石墨坩埚作为关键核心部件的主要作用有如下几点:


    (1)高温承载作用:装满多晶硅原料的石英坩埚要置于石墨坩埚里面,石墨坩埚要承载石英坩埚和多晶硅等原料的重量,保证高温石英坩埚变软后,原料不会泄漏出来,并且在拉晶过程中要承载原料做旋转运动,因此,对其力学性能要求比较高;

石墨模具|石墨棒|石墨坩埚

    (2)传热作用:坩埚通过自身优良的导热性能,传导多晶硅原料融化所需的热量,融化温度在1600℃左右,因此,坩埚必须要有良好的高温导热性能;


    (3)安全作用:在紧急情况停炉时,由于多晶硅冷却时体积膨胀(大约为10%),坩埚短时间内会承受很大的应力,因石墨材料自身的强度较低,石墨坩埚在这种情况下一般都会炸裂而报废,甚至损坏相邻部件乃至整个热场,因此石墨坩埚强度较低是单晶生产稳定的隐患,急需更新换代,使用符合拉晶需求的抗折强度大的产品。