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石墨加热之加热器的设计

发布时间:2019-11-11 18:08:04 浏览:369次

    设计加热器可参考以下几个步骤:


    一、选材和确定石墨加热器形状


    加热器一般用高纯石墨制成,高纯石墨的电阻率,加热器目前通常做成筒形。


    二、确定石墨模具托碗壁厚


    石墨托碗壁厚一般为3毫米—6毫米

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    三、确定石墨加热器内径


    根据给定坩埚直径和石墨托碗壁厚,算出加热器内径。


    Φ内=石英坩埚外径+2倍石墨托碗壁厚+2倍石墨托碗和加热器的间隙


    若石墨托碗壁厚为a,石墨托碗与加热器的间隙为b(b=5毫米),


    Φ内=Φ外坩+2a+2b=Φ外坩+2(a+b)


    四、确定石墨加热器有效高度


    经过长期实践,加热器有效长度为石英坩埚高的1.6倍至1.8倍。


    若加热器高为H,石英坩埚高为h


    H=(1.6~1.8)h一般取H=1.7h


    五、确定石墨加热器片数,算出片宽。


    加热器一般为16片、20片、24片三种形式,目前一般为20片。


    若加热器片宽为,片与片的间隙为2毫米


    六、确定石墨加热器厚度


    加热器采用并联电路形式导电,加热器总电阻为R,每联的电阻为R1,加热器的壁厚为d


    七、确定石墨加热器外径


    以上计算只能做参考,在实际生产中,不一定用到单晶炉*大功率,所以计算和实际有一这距离,但它毕竟给出一个范围,在实际制作加热器时还是非常有用的。