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石墨热场之多晶硅铸锭炉热场的清理

发布时间:2019-10-31 17:49:34 浏览:591次

   石墨模具热场之多晶硅铸锭炉热场的清理可参考以下内容:


    1.用毛刷清理大*板的排杂口,将杂物清理彻底。


    2.用百洁布擦拭*部和侧部加热器以及CC碳板。然后用工业吸尘器对其表面产生的污渍进行清理,*后用酒精和擦炉纸擦拭加热器表面。


    3.对于隔热笼及炉腔缝隙内可以用专门工具清洁。


    4.清洁完上炉体内,对隔热层内外能清到的地方清理一遍。

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    5.清理石墨纤维板时,对其溢流口进行清理,使溢流口通畅。


    6.用吸尘器清理溢流棉上杂物,颗粒物时,防止吸尘器吸力过大而损坏溢流棉,在清理过程中一定将杂物去除彻底并且检查溢流线的位置是否符合要求。(用吸尘器将炉腔内清理干净,清理顺序为:DS助凝板、石墨纤维板、防溢石棉、腔内壁杂物,直至确认炉体内无明显污物为准。)


    7.检修及清理完成后,要确认没有物体没有落到炉内,这一点很重要,要切记。(注意不要将任何物品遗漏到炉体内)


    8.装完料后,塞入四侧的碳纤维隔热板条并让其紧贴着坩埚底板,放置完成后,用吸尘器将坩埚四周清理干净,一切处理完成后,操作人员用蘸有酒精的无尘纸将下炉腔与炉体接触的两个面擦拭干净,然后均匀地涂上一层真空脂,油脂适量即可,切忌过多,否则会影响抽真空且又造成浪费。